測定精度

Z：±（2.5+0.5×IHI）μm以下 H：変位（mm）
X：±（2.5+0.02L）μm以下 L：测量长度（mm）

分解能

Z：0.25μm X分辨率：0.1μm

取样数／最小间隔

Max 64,000点／Min 0.5μm

測定范围

Z：30mm X：50mm

表示倍率

纵（Z）、 横（X）：1～2,000倍