轮廓测定机EF550-G18/-G18D
发布于:2018-01-07 20:26:32点击:
測定范围 |
Z:50mm X:100mm |
測定精度 |
Z:±0.25%/全量程 |
X轴光栅尺分解能 |
0.1μm |
测定倍率 |
纵横均为1~200倍 |
上下移动范围 |
200mm |
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